Технология производства микроэлектронных устройств : учебник для средних специальных учебных заведений по специальности "Производство микроэлектронных устройств" [печатный текст] / Идея Александровна Малышева, Автор ; Ю. Г. Обичкин, Редактор ; Н.Н. Кузнецова, Редактор ; В. Н. Хомяков, Оформитель переплета ; Н. М. Пушкарева, Технический редактор ; М. Г. Гулина, Корректор печатного текста . - Энергия, 1980 . - 454, [3] с. : рисунки, таблицы ; 21 см. - ( Для учащихся техникумов) . (в переплёте) : 1 р Библиография : с. 437 (25 названий).- Предметный указатель : с. 439.- 15 000 экземпляров.- Текст : непосредственный Язык : Русский ( rus) |
Технология производства микроэлектронных устройств / Идея Александровна Малышева